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        文章詳情

        ZYGO白光輪廓儀之“快速跳躍掃描”ZIP-SCAN模式

        日期:2023-03-22 19:55
        瀏覽次數:39
        摘要: 您知道么?ZYGO所有型號白光輪廓儀,都具有ZIP-SCAN“快速跳躍掃描” 模式,用于大高度,多層臺階的高效測量。 對于有高度差的臺階表面,ZYGO基本解決方案是,以掃描高度覆蓋臺階高度,從而測出臺階樣品整個微觀形貌。但高精度模式下,壓電陶瓷掃描長度一般在100um左右,這大大限制了臺階高度的測量范圍。 ZYGO還提供延長掃描(Extended Scan Length)的測量方案,以電機驅動縱向掃描,高度可達20mm,幾乎可以解決大部分高落差的臺階樣品。但由于在整個20mm高度的掃描過程中,...

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        您知道么?ZYGO所有型號白光輪廓儀,都具有ZIP-SCAN“快速跳躍掃描” 模式,用于大高度,多層臺階的高效測量。

         

        對于有高度差的臺階表面,ZYGO基本解決方案是,以掃描高度覆蓋臺階高度,從而測出臺階樣品整個微觀形貌。但高精度模式下,壓電陶瓷掃描長度一般在100um左右,這大大限制了臺階高度的測量范圍。 

        ZYGO還提供延長掃描(Extended Scan Length)的測量方案,以電機驅動縱向掃描,高度可達20mm,幾乎可以解決大部分高落差的臺階樣品。但由于在整個20mm高度的掃描過程中,系統一直在測量采樣,所以這一掃描測量過程,會花費較長的時間。 

        如果您的樣品具有大的臺階跳躍,或者多層臺階,對測量時間效率要求高,那您可以考慮ZYGO獨有的“快速跳躍掃描”ZIP-SCAN模式。

         

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        Zip Scan(快速跳躍掃描)模式,是以電機驅動,移到預設的臺階高度,再切換為壓電陶瓷做高精度掃描。測試時兼容多個CSI掃描模式,包括SureScan抗震模式,同時還可兼容Stitch拼接和Pattern功能。

        Zip Scan的優點:對于臺階高度大的樣件,Zip Scan測試效率高,節約時間成本,測試結果準確。避免了延長掃描的長耗時,減少了延長掃描過程中環境震動的影響。同時,對于多臺階的樣件,可實現每層可以自定義光強,以及每層可以自定義掃描長度。

         

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        上海浦量元精密機電有限公司

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